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Enviado
Mar 4, 2018
Accepted
Out 5, 2018
Publicado
Out 6, 2018
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Resumo

Filmes de nitreto de titânio foram depositados em substratos de vidro borosilicato por descarga a plasma em gaiola catódica com furos e sem furos nas laterais. Cada filme foi depositado com uma pressão de trabalho de nitrogênio e hidrogênio de 1,9 Torr na temperatura 435 °C. As Propriedades estruturais, ópticas e elétricas foram investigadas para compreender o efeito da presença ou não de furos nas laterais da gaiola catódica sobre elas. Os menores valores de resistividade elétrica foram encontrados nos filmes depositados na gaiola com furos e com fluxos de gases de 72 sccm de N2 e de 128 sccm de H2. Os maiores valores de transmitância foram encontrados nos filmes depositados na gaiola sem furos e fluxo de gases de 178 sccm de N2 e 22 sccm de H2.


Palavras-chave

Filme fino nitreto de titânio plasma gaiola catódica

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Biografia do Autor

Sandro Santos da Silva, Ifes- Instituto Federal do Espírito Santo

Professor da Coordenadoria de Física do Instituto Federal do Espírito Santo. Licenciado em Física e Mestre em Ciencia dos Materiais.

Leonardo Cabral Gontijo, Ifes- Instituto Federal do Espírito Santo

Professor Titular Aposentado do instituto Federal do Espírito Santo. Possui graduação em Licenciatura Plena Em Física pela Universidade Federal do Espírito Santo (1983), mestrado em Mestrado Em Física pela Universidade Federal do Espírito Santo (1996) e doutorado em Ciência e Engenharia dos Materiais pela Universidade Federal de São Carlos (2002). Atualmente é professor do Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo. Tem experiência na área de Engenharia de Materiais e Metalúrgica, com ênfase em Tratamentos Superficiais, atuando principalmente nos seguintes temas: plasma, nitretação por plasma, corrosão, caracterização e aço inoxidável.

 

Sukarno Olavo Ferreira, Universidade Federal de Viçosa

Universidade Federal de Viçosa (UFV); Departamento de Física.

Cintia de Laet Ravani Bottoni, Cintia de Laet Ravani Bottoni

Graduada em Engenharia Química pela Faculdade Aracruz (2009), Habilitada em Física pelo Programa Especial de Formação Pedagógica da Universidade Metropolitana de Santos (UNIMES, 2010), Pós-Graduada em Educação Ambiental (Instituto Superior de Educação de Afonso Cláudio, 2012), Mestre em Engenharia Metalúrgica e de Materiais pelo Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo (IFES, 2014) e Engenheira de Segurança do Trabalho pela Universidade Federal do Espírito Santo (UFES, 2015). Possui experiência em docência, coordenação de curso, pesquisa e desenvolvimento de novos produtos/tecnologias e execução de consultoria técnica.
Como Citar
Silva, S. S. da, Gontijo, L. C., Ferreira, S. O., & Bottoni, C. de L. R. (2018). CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE NITRETO DE TITÂNIO DEPOSITADOS POR DESCARGA A PLASMA EM GAIOLA CATÓDICA. Exatas & Engenharias, 8(21). https://doi.org/10.25242/885X82120181322

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